甲烷浓度对批量生产金刚石涂层刀片的影响

【摘要】：采用微波等离子体CVD(MWCVD)法小批量地生产了金刚石涂层刀片,在金刚石薄膜沉积的过程中,研究了碳源浓度对沉积金刚石膜的均匀性的影响。用扫描电子显微镜(SEM)和激光拉曼光谱(Raman)对薄膜的表面形貌和质量进行了表征。结果表明较低的低甲烷浓度适合金刚石涂层刀片的批量生产。 【作者单位】： 武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室;
【关键词】： 金刚石涂层 硬质合金刀片 微波等离子体化学气相沉积 甲烷浓度
【基金】：湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队资助项目(2004) 湖北省教育厅Q20081505项目 武汉工程大学绿色化工过程省部共建教育部重点实验室2008年度开放基金RGCT200801 武汉工程大学第三届大学生校长基金 武汉工程大学研究生教育创新基金对本研究的支持
【分类号】：TG711
【正文快照】： 金刚石具有许多优异的性能,如已知材料中最高的硬度、低摩擦系数、高导热率、高的抗热冲击性及高弹性模量,是刀具材料的理想涂层材料[1]。天然金刚石及高温高压人工合成金刚石因其粒状形状及昂贵的价格限制了其应用范围。CVD法合成金刚石薄膜因其薄膜状形态,扩展了其应用范围

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