多孔硅在太阳能电池应用中的相关研究

【摘要】：本文用化学腐蚀法在多晶硅基片上制作多孔硅,通过SEM、XPS对多孔硅的表面微结构及其组成进行了研究,定性地分析了氧在多孔硅层中的作用及主要热行为。分析了多孔硅用于太阳能电池时应注意的问题:多孔层微孔尺寸、太阳电池工艺中各热处理过程的温度和时间、多孔层与电极材料是否形成欧姆接触及快速热氧化(RTO)的钝化效果。 【作者单位】： 郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室 郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室 郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室 郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室 郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室 郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室 郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室
【关键词】： 氧钝化 快速热处理(RTP) 快速热氧化(RTO) 减反膜
【分类号】：O482
【正文快照】： 1引言由于多孔硅具有好的减反效果,制作简单,在多晶硅太阳电池应用中被用作减反层,是当前研究的热点。多孔硅是个富氧的多孔层,在热处理过程中,多孔硅的微结构及氧在其中的作用随温度而变化。在太阳电池的制作过程中,需经高温扩散,金属电极烧结、钝化等热处理过程。因此,为了

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