甲烷流量对高掺硼金刚石多晶薄膜形态生长的影响
甲烷流量对高掺硼金刚石多晶薄膜形态生长的影响【摘要】:在不同的甲烷流量下,用热丝化学气相沉积方法(HFCVD)在N型(100)单晶硅片上制备了掺硼金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SE
【关键词】: 掺硼金刚石 热丝CVD 扫描电子显微镜 拉曼光谱
【分类号】:O484.42
【正文快照】: 纯的金刚石薄膜是价带被电子完全占据而导带完全没有被占据的禁带宽度达到5.5eV的宽禁带半导体,具有高的电子与空穴迁移率.通过掺硼,金刚石薄膜转变为P型半导体,硼受主原子电离能为0.37eV[1];掺硼浓度达到一定量时,金刚石薄膜从半导体性质转变为类金属性质,甚至在低温下还出
您可以在本站搜索以下学术论文文献来了解更多相关内容
激光拉曼光谱在CVD金刚石薄膜质量表征中的应用 匡同春,刘正义
用镀有钛过渡层的钼衬底制备无裂纹自支撑金刚石膜 李浩;李成明;吕反修;唐伟忠;陈广超;鲍学进;刘政;
采用DC Arc Plasma JetCVD方法沉积微/纳米复合自支撑金刚石膜 戴风伟;陈广超;兰昊;J.Askari;宋建华;李成明;佟玉梅;李彬;黑立富;吕反修;
金刚石膜成分、微结构和力学性能的表征 彭仕魁,匡同春 ,成晓玲,白晓军
EACVD金刚石膜设备的控制技术及实验研究 朱胤
山东蒙阴褐色金刚石的显微塑性变形特征研究 李海波
基于人工神经网络的水质监测拉曼光谱系统的研究 王保存
山东蒙阴褐色金刚石的颜色与晶格缺陷关系研究 武改朝
热丝CVD法制备a-Si_(1-x)C_x薄膜的光电性能研究 程彬;沈鸿烈;吴天如;丁滔;肖少文;陆婷;
不同重力取向对金刚石薄膜生长的影响 杨洁;申彩霞;刘旺盛;王成新;刘洪武;
高气压直流等离子体放电特性和材料应用研究 丁芳;郑仕健;汤中亮;倪天灵;柯博;朱晓东;
掺硼金刚石薄膜表面的氨基终端修饰的研究 安云玲
氧化铝衬底上利用金刚石纳米粉引晶方法合成的高掺杂金刚石薄膜的特性研究 杨传径
壳聚糖修饰掺硼金刚石薄膜电极测定铜离子 多思
BDD/Ti复合膜电极的制备工艺研究 马明
-
饲料添加剂可减少奶牛30%甲烷排放2024-08-19
-
一种焦炉尾气制天然气制甲烷化工艺2024-08-19
-
基于AADL的甲烷浓度监测报警系统可靠性验证2024-08-19
-
4,4′-二氨基二苯甲烷合成的正交试验法研究2024-08-19
-
研究发现牛吃抗生素甲烷排得多2024-08-19
-
溶剂解吸-气相色谱法测定工作场所空气中二氯甲烷2024-08-19
-
二氯甲烷分子构型和特征光谱的研究2024-08-19
-
a-Si:H薄膜太阳能电池2024-08-19
-
科莱恩与惠生工程及阿美科福斯特惠勒共同建设的VESTA甲烷化新技术中试装置顺利通过各项性能测验2024-08-19
-
添加氯离子对Ni/CeO_2催化剂CO选择甲烷化反应催化性能的促进2024-08-19
-
Ag纳米蛾膜结构阵列对薄膜硅太阳能电池光吸收的影响2024-08-19
-
碘甲烷熏蒸对土壤脲酶活性的影响2024-08-18
-
基于全光缓存器的光纤传感甲烷多点监测系统2024-08-18
-
亚磷酸二甲酯尾气中氯甲烷的回收2024-08-18
-
工作场所空气中二氯乙烷和三氯甲烷的同时测定2024-08-18