甲烷浓度对金刚石薄膜质量的影响
甲烷浓度对金刚石薄膜质量的影响【摘要】:纳米金刚石薄膜具有优异的性能,已在多个领域获得广泛应用。但微波等离子体化学气相沉积制备的金刚石薄膜质量却严重受沉积工艺的影响,为了深入了解沉
【关键词】: 金刚石薄膜 化学气相沉积 沉积工艺
【基金】:国家自然科学基金项目(No.61076041,50702051) 河南省科技攻关项目(No.0624250014) 郑州大学校内培育基金项目
【分类号】:TB43
【正文快照】: 金刚石具有诸多优异的力、热、光、电等性质,同时也具有优良的化学惰性,很好的热稳定性等,在机械、光学、电子学及声学等领域有着广阔的应用前景[1],但是由于其数量稀少且价格昂贵,因而在现实中其应用是十分有限的。上个世纪八十年代初苏联的Spitsyn和日本的Matsumoto等人发
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微-纳米复合金刚石薄膜的制备与性能研究 柴士磊;史新伟;周秋霞;靳慧智;姚宁;王新昌;张兵临;
纳米金刚石复合涂层紧压模的制备及应用 张志明,沈荷生,孙方宏,郭松寿
硬质合金表面化学镀Ni-P-金刚石粉沉积金刚石膜的研究 吴健,匡同春
微晶/纳米金刚石复合涂层的沉积与表征 马玉平;朱绍峰;袁根福;
微波等离子体刻蚀脱碳预处理对金刚石涂层刀具附着力和切削性能的影响 夏琦,张志明,沈荷生,孙方宏,何贤昶
纳米金刚石薄膜的光学性能研究 蒋丽雯;王林军;刘健敏;阮建锋;苏青峰;崔江涛;吴南春;史伟民;夏义本;
热等离子体在材料加工中的应用 孙元成;邵竹锋;宋学富;王宏杰;
化学气相沉积光学级金刚石薄膜的研究进展 熊礼威;汪建华;满卫东;曹菊琴;
微波等离子体刻蚀对WC-Co硬质合金基体金刚石薄膜附着力的影响 刘学深 ,孙方宏 ,陈明 ,张志明
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电子束蒸发二氧化锆薄膜表面粗糙度的研究 潘永强;杭凌侠;罗廷;
脉冲激光技术研制纳米金刚石薄膜以及衬底温度对薄膜的影响 欧阳钢;郭建;颜晓红;
红外窗口金刚石透波涂层沉积设备研制与涂层性能研究 王鸿翔
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形状可控的金属VIA族半导体的γ-射线辐射法合成 胡勇
功能化金刚石薄膜制备及其应用研究 赵建文
电子辅助化学气相沉积法(EACVD)制备纳米金刚石薄膜及其光电性能的研究 吴南春
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新型MPCVD装置制备大面积纳米金刚石薄膜的研究 陈冠虎
硬质合金/金刚石薄膜的制备和附着性能的研究 杨莉
脉冲激光沉积法制备纳米功能薄膜的形膜条件及其性能研究 欧阳钢
柔性衬底上金刚石薄膜的制备及其附着性能研究 程春晓
纳米金刚石薄膜的制备与研究 柴士磊
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CVD金刚石薄膜刀具基体表面电化学两步法预处理研究 宋金亮
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高频大功率SAW滤波器的ZnO/金刚石多层膜制备及性能研究 李翠平
卷绕直流磁控溅射法制备铜膜及其性能研究 周序乐
纳米金刚石薄膜的制备特点及特性 方静华,项金钟,周桢来,吴兴惠
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炸药爆轰法制备纳米金刚石 金增寿,徐康
纳米级金刚石的结构、性能与应用 王光祖,胡建根,罗明
纳米金刚石增强镍基合金熔覆涂层的摩擦学性能 朱少峰,张华堂,佟晓辉
采用巴基管涂层化学气相沉积金刚石 王克忠,高志栋,李玉宝,陈志清,朱艳秋,梁吉,魏秉庆,吴德海,惠梦君
纳米金刚石颗粒涂层的场电子发射 邵乐喜,谢二庆,公维宾,贺德衍,陈光华
用发射天线式微波等离子体CVD装置沉积大面积金刚石薄膜 王建军,吕反修,邬钦崇,隋毅峰,周永成
温度对直流热阴极化学气相沉积硼掺杂金刚石薄膜的影响(英文) 吕江维;冯玉杰;高娜;彭鸿雁;陈玉强;姜宏伟;祁文涛;
电弧放电法快速合成金刚石薄膜 丁正明;张伟东;张志明;庄志诚;
电子辅助热丝化学气相沉积金刚石薄膜中氢原子谱线与最佳成膜条件 董丽芳,尚勇,王志军
MPECVD法在抛光石英玻璃上沉积金刚石薄膜 熊礼威;汪建华;满卫东;
砷化镓衬底CVD金刚石薄膜辐射探测器的研究 吴斌;汪建华;满卫东;熊礼威;
直流热阴极CVD金刚石薄膜生长特性研究 吕江维;冯玉杰;彭鸿雁;陈玉强;
化学气相沉积光学级金刚石薄膜的研究进展 熊礼威;汪建华;满卫东;曹菊琴;
甲烷浓度对CVD自支撑金刚石薄膜残余应力的影响(英文) 朱宏喜;毛卫民;吕反修;赵清坡;谢秋风;
不同过渡层对钢基金刚石薄膜的影响 王玲;余志明;魏秋平;田孟昆;王志辉;
热丝化学气相沉积金刚石薄膜空间场的数值分析 李建国;胡东平;季锡林;胡文军;
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在镜面抛光的硅衬底上沉积金刚石薄膜 纪红;金曾孙;顾长志;金文成;吕宪义;邹广田;
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硅气凝胶中化学气相沉积硅的光致发光 张波;蒋伟阳;周斌;沈军;王珏;
GaN纳米线的制备与表征 王非;杨冬;李春华;梁建;马淑芳;刘旭光;许并社;
化学气相沉积制备硅纳米棒阵列 周炽炜;蔡克峰;
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氧化铁表面沉积热解炭及气化 吴文军;张伟刚;
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高压下石墨、C_(60)和Cu_2O的电学性质 刘才龙
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