MPCVD中甲烷等离子体发射光谱研究
MPCVD中甲烷等离子体发射光谱研究【摘要】:在微波化学气相沉积装置上采用微波激发氢气甲烷体系等离子体,通过光学多道分析仪采集等离子的发射光谱。实验表明,甲烷在等离子体中的裂解产物
【关键词】: MPCVD 发射光谱 甲烷等离子体 光谱强度
【分类号】:TN304.055;O539
【正文快照】: 1引言近年来,低气压低温微波放电已经被广泛应用于等离子体镀膜、刻蚀和表面清洗等方面。其中一个很重要的应用领域便是微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)。为了更好的理解微波放电等离子体中的反应过程,通过对MPCVD过程中等离子体发射光谱的分析[1~6]来研究微波放电过程中的
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