太阳能电池刻蚀机的控制系统研究

【摘要】：太阳能电池刻蚀机的自动生产流程是逻辑控制系统,提出采用树形结构对逻辑控制系统进行分析,各子系统用树形结构进行设计,终端子系统采用时序图方法进行设计,综合了组合逻辑和时序逻辑控制。此方法应用于自动太阳能电池刻蚀机,提高了系统的处理速度和可靠性。 【作者单位】： 中国科学院微电子研究所;
【关键词】： 树形结构 逻辑控制 系统 组合逻辑 时序逻辑 时序图
【基金】：中国科学院微电子研究所所长基金(07SF074002)资助项目
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 1引言太阳能电池刻蚀机是用于单晶硅、多晶硅、非晶硅电池片等扩散后进行周边刻蚀的设备,它是太阳能电池片生产的重要设备,对提高电池片的生产效率具有重要的作用。它的工作原理是在真空腔室中,通过射频电源产生等离子体,在一定的压力和流量下气体与电池片周边进行化学反应,

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