掺杂室沉积本征微晶硅材料及其在太阳能电池中的应用(英文)

【摘要】：在掺杂P室采用甚高频等离子体增强化学气相沉积( VHF-PECVD)技术,制备了不同硅烷浓度条件下的本征微晶硅薄膜.对薄膜电学特性和结构特性的测试结果分析表明:随硅烷浓度的增加,材料的光敏性先略微降低后提高,而晶化率的变化趋势与之相反; X射线衍射( XRD)测试表明材料具有(220)择优晶向.在P腔室中用VHF-PECVD方法制备单结微晶硅太阳能电池的i层和p层,其光电转换效率为4.7 %,非晶硅/微晶硅叠层电池(底电池的p层和i层在P室沉积)的效率达8.5 %. 【作者单位】： 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所 南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室 光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学
【关键词】： 甚高频等离子体增强化学气相沉积 本征微晶硅 太阳能电池
【基金】：国家高技术研究发展规划(批准号:2007AA05Z436) 国家重点基础研究发展规划(批准号:2006CB202602 ,2006CB202603) 国家自然科学基金(批准号:60506003) 南开大学博士启动基金(批准号:J02031) 科技部国际合作重点项目(批准号:2006DFA62390) 教育部新世纪人才计划资助项目~~
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 1 IntroductionMicrocrystalline silicon (μc-Si :H) thin fil ms areof great interest for their potential applications inso-lar cells due to their lowapparent band gap,high sta-bility ,and low process cost[1 ,2].The preparation andcharacteristic research o

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