非晶硅薄膜太阳能电池生产简述

【摘要】：简述了非晶硅薄膜太阳能电池基本原理,论述了采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术生产非晶硅薄膜太阳能电池的工艺、产品性能参数及研究发展方向。 【作者单位】： 秦皇岛玻璃工业研究设计院;
【关键词】： 非晶硅薄膜太阳能电池 PECVD a-Si
【分类号】：TM914.4
【正文快照】： 1引言太阳能电池是利用光电转换原理使太阳的辐射光通过半导体物质转变为电能的一种器件,这种光电转换过程通常叫做“光生伏打效应”,因此太阳能电池又称为“光伏电池”。太阳能光电转换电池主要分为两类,一类是晶体硅电池,包括单晶硅(sc-Si)电池、多晶硅(mc-Si)电池两种,它

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