甲烷气体放电特性的研究

【摘要】：在E/N为100~900 Td(1Td=1017Vcm2)的场强范围内,对甲烷气体中的电子崩发展进行了仿真研究.采用蒙特卡罗模拟法对其电子崩参数诸如有效电离系数、电子漂移速度、纵向扩散系数等进行了求解计算,计算结果与实验数据相一致.仿真结果表明:随着E/N值的增大,即电离作用的增强,电子的各漂移速度也呈现出差异. 【作者单位】： 大连交通大学电气信息学院;室兰工业大学情报电子工学系;
【关键词】： 甲烷气体 电子崩参数 蒙特卡罗模拟 空碰撞法
【分类号】：O623.11
【正文快照】： 0引言等离子体增强化学气象沉积(Plasma En-hanced Chemical Vapor Deposition,PECVA)技术,是目前低温制备薄膜材料的一种常用方法.将甲烷气体电离形成等离子体制备类金刚石薄膜[1],近年来引起人们广泛重视.甲烷在电子束控制开关中的应用[2],使大电流的快速断开闭合成为可能.

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