甲烷浓度对CVD多晶金刚石薄膜孪晶的影响

【摘要】：利用扫描电镜、X射线衍射和电子背散射衍射研究了CVD自支撑金刚石薄膜的表面形貌组织、织构和晶界分布。研究表明:金刚石薄膜制备气氛纯度较低,造成薄膜中存在较多孪晶。沉积气体中甲烷浓度升高,孪晶发生频率增加,孪晶对织构组分的影响程度增加。高频率孪晶使薄膜中{100}织构转变为{122}织构,但没有观察到明显的{511}和{411}孪晶织构,说明孪晶取向的变化具有一定的选择性。 【作者单位】： 河南科技大学材料科学与工程学院;有色金属共性技术河南省协同创新中心;
【关键词】： 金刚石薄膜 甲烷浓度 孪晶 织构 电子背散射衍射
【基金】：河南省高校科技创新团队支持计划资助项目(2012IRTSTHN008) 河南科技大学博士科研启动基金(09001233)资助项目 河南科技大学SRTP资助项目(2012036)
【分类号】：TB383.2
【正文快照】： CVD金刚石薄膜是一种具有多种优异性能的功能材料[1-3]。目前,金刚石薄膜制备技术已经有了巨大的进展[1-4],人们在严格的制备工艺条件下已经能够沉积出较高质量的金刚石薄膜[3-6]。孪晶是多晶金刚石薄膜沉积过程中经常发生的一种晶体缺陷[7-9],会造成晶体取向的改变,但孪晶母

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