甲烷压强对类金刚石薄膜结构与性能的影响
甲烷压强对类金刚石薄膜结构与性能的影响【摘要】:以氩气、氩气-甲烷为辅助气体,高纯石墨为靶材,采用脉冲非平衡磁控溅射技术制备了无定形碳膜(a—C)及氢化无定形碳膜(a—C∶H)。利
【关键词】: 类金刚石膜 甲烷压强 脉冲非平衡磁控溅射技术 结构 性能
【基金】:国家自然科学基金(11305142) 郑州市科技计划项目(131PPTGG411-10)
【分类号】:O484.1
【正文快照】: 无定形碳膜(a—C)及氢化无定形碳膜(a—C∶H)统称为类金刚石膜。类金刚石膜是一种非晶态碳膜,主要由sp2杂化键(石墨)和sp3杂化键(金刚石)组成。该膜具有一系列优异的综合性能,如较高的力学硬度和弹性模量、较低的摩擦因数、较好的耐磨性、较高的电阻率、在可见及红外波段具有
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