新型MEMS技术用于下一代光伏

MEMS技术已被用于微电子产业的其他分支，例如先进的封装和半导体器件中的3-D集成电路，事实证明采用MEMS技术可获得巨大的竞争优势。光伏技术非常不同于微机电系统（MEMS），但两个产业却年龄相仿，并且都处在将要进入批量生产的阶段。此外，新一代高效率太阳能电池需要有创新的制造技术，以大幅度降低每瓦的成本（cost per watt）。本文将描述这种跨产业创新进程的商业方法，并简要介绍使用的技术及其针对的应用。

光伏产业必须折中处理各个要素。其中最关键的是能源转换效率和复杂光伏电池结构的生产成本。尽管全球的光伏产业在过去的8年中飞速增长——复合年增长率（CAGR）大约为4 0％——光伏模块的价格平均每年仅下降5％，这将难以推动该产业在短期内成为广泛应用的能源。获得具有成 本效益的生产能力，以及高效率的创新战略是至关重要的。

MEMS产业的供应商在过去的几年里经历了类似的挑战。今天MEMS增长的推动力是在消费行业中的应用。用于游戏的加速度计和陀螺仪，笔记本电脑和移动应用，用于移动电话的硅制麦克风和RF振荡器，以及用于家庭娱乐和投影应用的数字微镜器件，给这些供应商施加了压力，须要减少生产设备的总体拥有成本（CoO）。

虽然这一事实迫使设备供应商为MEMS市场而拿出创新的方法来节约成本，它也引发了技术上的突破——包括用于实现双面光刻的背面对准；在具有挑战性的表面起伏条件下均匀地喷涂光刻胶；还有，用来永久或暂时连接两个或两个以上的晶圆衬底的晶圆键合。这些技术已经被成功地移植到先进的封装和3-D集成应用，以及化合物半导体产业中

与微机电系统（MEMS）一样，光伏产业正朝着大批量生产迈进，并保持了高度的垂直整合性。主要的衬底是硅和薄膜材料，器件的封装主要在工艺线完成。此外，由于缺乏标准化和制造过程中的大量专门知识，工艺和设备之间存在巨大的相互依赖。所以，尽管光伏是与MEMS和半导体产业非常不同的市场，但MEMS和PV这两个行业的特点却是惊人的相似。另外，光伏产业的价格弹性需求更高。这给能够大大降低总体拥有成本（TCO）的技术提供了一个良好的基础，从而最终有助于减少电池每瓦的成本。

要建立一个包含所有设备和服务（图1）的TCO战略，不仅要注重像机器吞吐量、标准运行时间、占地面积、投资费用和工艺成品率这些确凿的事实，而且一些软事实也至关重要，例如对新问题调查的反应时间、于此相关的转换速度、用来提供投资保护的工具灵活性、在市场上的声誉、交货时间的可靠性，以及其他使公司区别于竞争对手的因素。当使用现有的技术面向新的市场时，只要公司通过各种战略营销渠道有效地表达这一创新战略，那么这些要素都会有助于减少风险。 但是，成功的跨产业创新不仅仅是对现有技术的市场分化。
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