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太阳能电池扩散设备简介

来源:新能源网
时间:2015-03-06 17:27:49
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太阳能电池扩散设备简介 太阳能电池扩散设备,包括扩散炉和机台排风端。太阳能电池扩散设备的运转流程是,扩散炉内产生的废气通过管道从机台排风端排出,机台排风端安装排风压力控制阀和

    太阳能电池扩散设备,包括扩散炉和机台排风端。太阳能电池扩散设备的运转流程是,扩散炉内产生的废气通过管道从机台排风端排出,机台排风端安装排风压力控制阀和相应的排风压力控制器。抽气排风压力稳定后,磷在硅片中的注入浓度稳定后,方块电阻也随之稳定,可以提升最终太阳能电池的效率5%。     扩散炉是太阳能电池片形成P-N结的核心组件,扩散炉的质量直接影响到电池片的性能。现在太阳能厂家流行的扩散方式有开管扩散、闭管扩散、软着陆扩散,开管扩散的产量比较低,偏磷酸的用量比较大;闭管扩散工艺过程完全不受外界环境干扰;软着陆扩散是根据现有6-8英寸集成电路扩散设备,而提出的新概念;软着陆扩散工艺质量完全受控;工艺有毒害尾气定向收集、集中处理排放;更加安环保。