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EUV光刻机耗能巨大 芯片制造商生产与节能减排难并重

来源:新能源网
时间:2022-08-27 21:54:52
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EUV光刻机耗能巨大 芯片制造商生产与节能减排难并重【EUV光刻机耗能巨大 芯片制造商生产与节能减排难并重】:集微网消息,据彭博社报道,ASML新一代EUV每台耗电约1百万瓦,三星

【EUV光刻机耗能巨大 芯片制造商生产与节能减排难并重】:集微网消息,据彭博社报道,ASML新一代EUV每台耗电约1百万瓦,三星、台积电等芯片制造大厂能源消耗巨大;台积电对化石燃料高度依赖,2025年耗能估占中国台湾省的12.5%。世界仅此一家的EUV公司ASML,旗下新一代的EUV光刻机耗资高达1.5亿美元,包含10万个部件和长达2公里的布线。EUV光刻机体现着更先进芯片的制造过程正变得复杂和能源密集。ASML当前每台EUV的额定耗电量约为1百万瓦,约为前几代设备的10倍,但由于没有替代品来制造最先进的半导体,芯片行业可能成为减少全球碳排放的重要绊脚石。台积电为业界拥有最多EUV光刻机的公司,公司目前已有超过80台EUV,新一代设备还在安装中。为了争取更多的客户订单来和台积电竞争,三星正在扩大对EUV的使用。